[发明专利]下层膜形成用树脂材料、抗蚀剂下层膜、抗蚀剂下层膜的制造方法及层叠体在审
| 申请号： | 201880064822.2 | 申请日： | 2018-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN111183395A | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 川岛启介;小田隆志;井上浩二 | 申请（专利权）人： | 三井化学株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/11 | 分类号： | G03F7/11;C08G61/00 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 钟晶;金鲜英 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的下层膜形成用树脂材料是用于形成多层抗蚀剂工艺所使用的抗蚀剂下层膜的下层膜形成用树脂材料，其包含环状烯烃聚合物(I)，使用流变仪，在氮气气氛下、以剪切模式、测定温度范围30～300℃、升温速度3℃/min、频率1Hz的条件测定得到的上述下层膜形成用树脂材料的固体粘弹性中，表示储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度为40℃以上200℃以下。 | ||
| 搜索关键词： | 下层 形成 树脂 材料 抗蚀剂 制造 方法 层叠 | ||
【主权项】：
暂无信息
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