[发明专利]非线性光学晶体的原位钝化在审
| 申请号： | 201880052803.8 | 申请日： | 2018-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN111033355A | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | M·帕兰杰佩;V·德里宾斯基;勇-霍·亚历克斯·庄 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/00 | 分类号： | G02B27/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在特性化工具的操作期间原位钝化非线性光学NLO晶体包含：经由非线性光学NLO晶体将选定波长的激光束转换成谐波波长的经转换激光束，且在转换成所述谐波波长的所述经转换激光束期间钝化所述NLO晶体。 | ||
| 搜索关键词： | 非线性 光学 晶体 原位 钝化 | ||
【主权项】：
暂无信息
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