[发明专利]扫描装置有效
| 申请号： | 201880047747.9 | 申请日： | 2018-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN110945404B | 公开（公告）日： | 2022-07-15 |
| 发明（设计）人： | 櫻井直人 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/10 | 分类号： | G02B26/10;B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明中的扫描装置具备：MEMS镜机构(3)，其以第1轴线(A1)为中心线使镜(3A)摆动，且以第2轴线(A2)为中心线使镜(3A)摆动；及控制部(5)，其产生用于以第1轴线(A1)为中心线使镜(3A)摆动的第1驱动信号(S1)、及用于以第2轴线(A2)为中心线使镜(3A)摆动的第2驱动信号(S2)。控制部(5)通过以与第1驱动信号(S1)中的1个周期以下的期间的第1信号要素对应的方式，重复产生构成第2驱动信号(S2)的第2信号要素，而以第1方向上的照射区域的m次(m：2以上的整数)往返及第2方向上的照射区域的1次往返彼此对应的方式产生第1驱动信号(S1)及第2驱动信号(S2)。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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