[发明专利]用于薄膜的大样本分析的系统和方法有效
申请号: | 201880044306.3 | 申请日: | 2018-11-09 |
公开(公告)号: | CN111108369B | 公开(公告)日: | 2023-07-14 |
发明(设计)人: | A·富尔曼;T·J·默克尔;C·德拉特雷 | 申请(专利权)人: | 伊鲁米纳公司 |
主分类号: | G01N21/958 | 分类号: | G01N21/958;G01B11/06 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 黄倩 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 方法的示例包括将大面积薄膜相对于空间非扫描红外(IR)辐射源维持在预定角度处。大面积薄膜反射红外辐射并且大面积薄膜的至少一部分是导电的。预定角度选自约0°至约45°的角度范围。方法的示例包括:在将大面积薄膜维持在预定角度的同时,利用来自空间非扫描红外辐射源的红外辐射直接照射大面积薄膜,并且通过红外成像系统,对来自大面积薄膜的经反射的红外辐射进行热成像,该红外成像系统具有相对于大面积薄膜以固定角度定位的光轴。固定角度选自在从约0°至约45°的范围内的角度。 | ||
搜索关键词: | 用于 薄膜 样本 分析 系统 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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