[发明专利]光学组件

摘要

光学组件(1A)包括包含可动反射镜(22)和固定反射镜(16)的反射镜单元(2)、分束器单元(3)、光入射部(4)、第1光检测器(6)、第2光源(7)、第2光检测器(8)、保持单元(130)、第1反射镜(51)、第2反射镜(52)和第3反射镜(53)，保持单元(130)以使得第1光检测器(6)、第2光检测器(8)和第2光源(7)朝向同一侧且按第1光检测器(6)、第2光检测器(8)、第2光源(7)的顺序排列的方式保持第1光检测器(6)、第2光检测器(8)和第2光源(7)，分束器单元(3)与第1光检测器(6)之间的光路的长度比分束器单元(3)与第2光检测器(8)之间的光路的长度短，且比分束器单元(3)与第2光源(7)之间的光路的长度短。

主权项

1.一种光学组件，其特征在于，包括：/n包括具有第1表面的基体、可动反射镜和固定反射镜的反射镜单元，其中所述可动反射镜以能够沿与所述第1表面交叉的第1方向移动的方式被支承于所述基体，所述固定反射镜相对于所述基体的位置被固定；/n分束器单元，其配置在所述第1方向上的所述反射镜单元的一侧，与所述可动反射镜和所述固定反射镜一起构成干涉光学系统；/n使从第1光源经测量对象入射的检测光或从测量对象发出的检测光入射至所述分束器单元的光入射部；/n检测从所述分束器单元出射的所述检测光的干涉光的第1光检测器；/n出射要入射到所述分束器单元的激光的第2光源；/n检测从所述分束器单元出射的所述激光的干涉光的第2光检测器；/n保持单元，其保持构成所述第1光检测器的第1光学器件、构成所述第2光源和所述第2光检测器中的一者的第2光学器件以及构成所述第2光源和所述第2光检测器中的另一者的第3光学器件，使得所述第1光学器件、所述第2光学器件和所述第3光学器件朝向同一侧，并使得按所述第1光学器件、所述第2光学器件、所述第3光学器件的顺序排列；/n以与所述分束器单元和所述第1光学器件相对的方式配置的第1反射镜，其是相对于所述第1光学器件的光轴倾斜的二向色镜，具有使所述检测光透射且将所述激光反射的功能，或者具有将所述检测光反射且使所述激光透射的功能；/n以与所述第1反射镜和所述第2光学器件相对的方式配置的第2反射镜，其是与所述第1反射镜平行的反射镜，具有将所述激光的一部分反射且使所述激光的剩余部分透射的功能；和/n以与所述第2反射镜和所述第3光学器件相对的方式配置的第3反射镜，其是与所述第2反射镜平行的反射镜，具有使所述激光反射的功能，/n所述分束器单元与所述第1光学器件之间的光路的长度比所述分束器单元与所述第2光学器件之间的光路的长度短，且比所述分束器单元与所述第3光学器件之间的光路的长度短。/n