[发明专利]光学组件有效
| 申请号： | 201880043077.3 | 申请日： | 2018-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN110799885B | 公开（公告）日： | 2022-02-25 |
| 发明（设计）人： | 铃木智史;港谷恭辅;杉本达哉 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B27/14;G01B9/02;G01J3/45;G01J3/06;G01J3/02;G01J3/10;G01J3/14;G02B7/182;B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的光学组件包括反射镜单元和分束器单元。反射镜单元包括具有主面的基体、可动反射镜、第1固定反射镜和驱动部。分束器单元与可动反射镜和第1固定反射镜一起针对检测光构成第1干涉光学系统。可动反射镜的反射镜面和第1固定反射镜的反射镜面沿着与主面平行的平面，且朝向与主面垂直的第1方向上的一侧。可动反射镜和驱动部、以及分束器单元与第1固定反射镜之间的光路的至少一部分配置于气密空间。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 组件 | ||
【主权项】：
1.一种光学组件，其特征在于：/n包括反射镜单元和分束器单元，/n所述反射镜单元包括：/n具有主面的基体；/n具有沿着与所述主面平行的平面的反射镜面的可动反射镜，其以能够沿与所述主面垂直的第1方向移动的方式被支承于所述基体；/n具有沿着与所述主面平行的平面的反射镜面的第1固定反射镜，其相对于所述基体的位置被固定；和/n使所述可动反射镜沿所述第1方向移动的驱动部，/n所述分束器单元与所述可动反射镜和所述第1固定反射镜一起针对检测光构成第1干涉光学系统，/n所述可动反射镜的所述反射镜面和所述第1固定反射镜的所述反射镜面朝向所述第1方向的一侧，/n在所述反射镜单元中，所述可动反射镜和所述驱动部、以及所述分束器单元与所述第1固定反射镜之间的光路的至少一部分配置于气密空间。/n
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