[发明专利]光学装置有效
| 申请号： | 201880042644.3 | 申请日： | 2018-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN110799883B | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 杉本达哉;铃木智史;港谷恭辅 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/00 | 分类号： | G02B26/00;B81B3/00;G01J3/45 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦;黄浩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的光学装置具备：弹性支撑部，其以可动部能够沿着第1方向移动的方式支撑可动部；第1梳齿电极，其具有多个第1梳齿；及第2梳齿电极，其具有多个第2梳齿。弹性支撑部具有：扭力棒，其沿着与第1方向垂直的第2方向延伸；及非线性缓和弹簧，其连接于扭力棒与可动部之间。非线性缓和弹簧构成为，在可动部在第1方向移动的状态下，非线性缓和弹簧绕第2方向的变形量小于扭力棒绕第2方向的变形量，且与第1方向及第2方向垂直的第3方向上的非线性缓和弹簧的变形量大于第3方向上的扭力棒的变形量。相邻的第1梳齿与第2梳齿在第2方向上彼此相对。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 装置 | ||
【主权项】：
1.一种光学装置，其具备：/n基座；/n可动部，其具有光学功能部；/n弹性支撑部，其连接于所述基座与所述可动部之间，以所述可动部能够沿着第1方向移动的方式支撑所述可动部；/n第1梳齿电极，其设置于所述基座，且具有多个第1梳齿；及/n第2梳齿电极，其设置于所述可动部及所述弹性支撑部的至少一者，且具有与所述多个第1梳齿交替地配置的多个第2梳齿，/n所述弹性支撑部具有沿着与所述第1方向垂直的第2方向延伸的扭力棒、及连接于所述扭力棒与所述可动部之间的非线性缓和弹簧，/n所述非线性缓和弹簧构成为，在所述可动部在所述第1方向移动的状态下，所述非线性缓和弹簧绕所述第2方向的变形量小于所述扭力棒绕所述第2方向的变形量，且与所述第1方向及所述第2方向垂直的第3方向上的所述非线性缓和弹簧的变形量大于所述第3方向上的所述扭力棒的变形量，/n相邻的所述第1梳齿与所述第2梳齿在所述第2方向上彼此相对。/n
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