[发明专利]光学器件在审
| 申请号： | 201880042263.5 | 申请日： | 2018-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN110799882A | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 杉本达哉;铃木智史;港谷恭辅 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/00 | 分类号： | G02B26/00;B81B3/00;G01B9/02;G01J3/45 |
| 代理公司： | 11322 北京尚诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 杨琦;徐飞跃 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在提供一种能够实现可动反射镜的镜面的大型化，同时抑制可动反射镜的可动性能降低和装置整体的大型化的光学器件。本发明的光学器件(10)包括：具有主面的基体(12)；具有沿着与主面平行的平面的镜面的可动反射镜(11)；将可动反射镜以沿着与主面垂直的第1方向可移动的方式支承的第1弹性支承部(14)和第2弹性支承部(15)；使可动反射镜沿着第1方向移动的致动器部(16)；和配置在与第1方向垂直的第2方向上的可动反射镜的一侧的第1光学功能部(17)。第1弹性支承部(14)具有从可动反射镜(11)沿着主面向与第1方向和第2方向垂直的第3方向上的第1光学功能部的两侧延伸的一对第1杆(141)。第2方向上的一对第1杆(141)各自的长度(A1)大于镜面(11a)的外缘与第1光学功能部(17)的边缘之间的最短距离(D1)。 | ||
| 搜索关键词： | 可动反射镜 弹性支承部 光学功能部 方向垂直 光学器件 镜面 方向移动 两侧延伸 性能降低 致动器部 主面平行 最短距离 垂直的 可移动 平面的 可动 支承 主面 配置 | ||
【主权项】：
1.一种光学器件，其特征在于，包括：/n具有主面的基体；/n可动反射镜，其具有沿着与所述主面平行的平面的镜面；/n第1弹性支承部和第2弹性支承部，其与所述基体和所述可动反射镜连接，以所述可动反射镜沿着与所述主面垂直的第1方向可移动的方式支承所述可动反射镜；/n致动器部，其使所述可动反射镜沿着所述第1方向移动；和/n第1光学功能部，其在从所述第1方向看时配置在与所述第1方向垂直的第2方向上的所述可动反射镜的一侧，/n所述第1弹性支承部具有一对第1杆，所述一对第1杆从所述可动反射镜沿着所述主面向与所述第1方向和所述第2方向垂直的第3方向上的所述第1光学功能部的两侧延伸，/n所述第2方向上的所述一对第1杆各自的长度大于所述镜面的外缘与所述第1光学功能部的边缘之间的最短距离。/n
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