[发明专利]从低分辨率图像产生高分辨率图像以用于半导体应用有效

申请号：	201880040444.4	申请日：	2018-06-29
公开（公告）号：	CN110785709B	公开（公告）日：	2022-07-15
发明（设计）人：	S·夏尔马;A·S·达恩狄安娜;M·马哈德凡;房超;A·阿索德甘;B·达菲	申请（专利权）人：	科磊股份有限公司
主分类号：	G03F7/20	分类号：	G03F7/20;H01L21/66
代理公司：	北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287	代理人：	刘丽楠
地址：	美国加利***	国省代码：	暂无信息
权利要求书：	查看更多	说明书：	查看更多
摘要：	本发明提供了用于从样本的低分辨率图像产生所述样本的高分辨率图像的方法和系统。一个系统包含经配置以用于获取样本的低分辨率图像的一或多个计算机子系统。所述系统还包含通过所述一或多个计算机子系统执行的一或多个组件。所述一或多个组件包含深度卷积神经网络，所述深度卷积神经网络包含经配置以用于产生所述低分辨率图像的表示的一或多个第一层。所述深度卷积神经网络还包含经配置以用于从所述低分辨率图像的所述表示产生所述样本的高分辨率图像的一或多个第二层。所述第二层包含经配置以输出所述高分辨率图像并且经配置为子像素卷积层的最终层。
搜索关键词：	分辨率图像产生高分辨率用于半导体应用
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【主权项】：

1.一种经配置以从样本的低分辨率图像产生所述样本的高分辨率图像的系统，其包括：/n一或多个计算机子系统，其经配置以用于获取样本的低分辨率图像；以及/n通过所述一或多个计算机子系统执行的一或多个组件，其中所述一或多个组件包括：/n深度卷积神经网络，其中所述深度卷积神经网络包括：/n一或多个第一层，其经配置以用于产生所述低分辨率图像的表示；以及/n一或多个第二层，其经配置以用于从所述低分辨率图像的所述表示产生所述样本的高分辨率图像，其中所述一或多个第二层包括经配置以输出所述高分辨率图像的最终层，并且其中所述最终层进一步经配置为子像素卷积层。/n

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