[发明专利]光学器件有效

专利信息
申请号: 201880037794.5 申请日: 2018-07-06
公开(公告)号: CN110720069B 公开(公告)日: 2021-12-24
发明(设计)人: 铃木智史;港谷恭辅;杉本达哉 申请(专利权)人: 浜松光子学株式会社
主分类号: G02B26/08 分类号: G02B26/08;G01B9/02;G01J3/45;G02B7/198
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摘要: 光学器件中,弹性支承部具有:在垂直于第1方向的第2方向上彼此相对的一对杆;沿第2方向延伸,分别连接在一对杆与底座之间的一对第1扭转支承部;沿第2方向延伸,分别连接在一对杆与可动部之间的一对第2扭转支承部;和架设于一对杆之间的第1联接部件。一对杆和第1联接部件划定光通过开口。一对杆与一对第1扭转支承部的连接位置的各个在垂直于第1方向和第2方向的第3方向上相对于光通过开口的中心位于可动部的相反侧。第2方向上的光通过开口的最大宽度由第2方向上的一对杆之间的间隔规定。
搜索关键词: 光学 器件
【主权项】:
1.一种光学器件,其特征在于,/n包括:/n具有主面的底座;/n可动部;/n配置在所述可动部上的光学功能部;和/n弹性支承部,其连接在所述底座与所述可动部之间,并且以所述可动部能够沿垂直于所述主面的第1方向移动的方式支承所述可动部,/n所述弹性支承部具有:/n在垂直于所述第1方向的第2方向上彼此相对的一对杆;/n沿所述第2方向延伸,且分别连接在所述一对杆与所述底座之间的一对第1扭转支承部;/n沿所述第2方向延伸,且分别连接在所述一对杆与所述可动部之间的一对第2扭转支承部;和/n架设于所述一对杆之间的第1联接部件,/n所述一对杆和所述第1联接部件划定光通过开口,/n所述一对杆与所述一对第1扭转支承部的连接位置的各个在垂直于所述第1方向和所述第2方向的第3方向上相对于所述光通过开口的中心位于所述可动部的相反侧,/n所述第2方向上的所述光通过开口的最大宽度由所述第2方向上的所述一对杆之间的间隔规定。/n
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