[发明专利]调节装置有效
| 申请号： | 201880037424.1 | 申请日： | 2018-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN110730918B | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 斯蒂芬·马图尼;阿恩·布拉米克;哈里·马特;丹妮拉·特尔 | 申请（专利权）人： | 物理仪器（PI）两合有限公司 |
| 主分类号： | G02B7/198 | 分类号： | G02B7/198;G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;李伟 |
| 地址： | 德国卡*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种调节装置(1)，包括基体(2)、至少两个实现驱动运动的驱动元件(3)、以及相对于所述基体可移动的平台(4)，其中每个所述驱动元件抵靠与所述驱动元件相关联的杠杆传动装置(5)，并且由所述杠杆传动装置传递的驱动元件的驱动运动通过连接至所述杠杆传动装置和所述平台的接合元件(6)转移至所述平台，并且在所述平台还布置有用于引导所述调节运动和牢固地连接至所述基体的弹性元件(7)，其中所述弹性元件抵消由所述调节运动引起的的在所述平台平面中的寄生平移运动和/或所述平台的围绕布置成垂直于所述平台平面的旋转轴线的寄生旋转运动。本发明还涉及所述调节装置在倾斜镜单元中的应用。 | ||
| 搜索关键词： | 调节 装置 | ||
【主权项】：
1.一种调节装置(1)，包括基体(2)、至少两个实现驱动运动的驱动元件(3)、以及相对于所述基体可移动的平台(4)，其中每个所述驱动元件(3)抵靠与所述驱动元件(3)相关联的杠杆传动装置(5)，并且由所述杠杆传动装置(5)传递的驱动元件(3)的驱动运动可通过连接至所述杠杆传动装置和所述平台(4)的接合元件(6)转移至所述平台(4)，以使所述平台(4)能够相对于所述基体实施限定的调节运动，所述调节运动是围绕穿过所述平台的轴线的倾斜运动的形式和/或平行于布置成与由所述平台限定的平台平面垂直的轴线的平移运动的形式，其中所述接合元件允许所述平台仅围绕至少一个倾斜轴线的倾斜运动，并且在所述平台还布置有用于引导所述调节运动和牢固地连接至所述基体的弹性元件(7)，其中所述弹性元件(7)抵消由所述调节运动引起的在所述平台平面中的寄生平移运动和/或所述平台围绕布置成与所述平台平面垂直的旋转轴线的寄生旋转运动。/n
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