[发明专利]颗粒去除设备及相关系统有效
| 申请号： | 201880035541.4 | 申请日： | 2018-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN110709776B | 公开（公告）日： | 2022-11-18 |
| 发明（设计）人： | J·范杜文博德;P·J·M·范吉尔斯;P·J·范丹欧弗;C·H·M·巴尔蒂斯 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;B08B6/00;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 董莘 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于从夹具(4)去除颗粒的设备(16)，该设备可布置在夹具附近，并且包括：绝缘部分(18)；支撑部分(20)，绝缘部分的至少一部分或全部被布置在支撑部分上，其中支撑部分被配置使得当电压被施加到设备的支撑部分和/或夹具的电极(8)时，支撑部分充当电极，以允许在设备与夹具之间生成电场，以用于从夹具去除颗粒。 | ||
| 搜索关键词： | 颗粒 去除 设备 相关 系统 | ||
【主权项】：
1.一种用于从夹具去除颗粒的设备，所述设备可布置在所述夹具附近并且包括：/n绝缘部分；/n支撑部分，所述绝缘部分的至少一部分或全部被布置在所述支撑部分上，其中所述支撑部分被配置使得：当电压被施加到所述设备的所述支撑部分和/或所述夹具的电极时，所述支撑部分充当电极，以允许在所述设备与所述夹具之间生成电场，以用于从所述夹具去除所述颗粒。/n
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