[发明专利]照明装置及方法、曝光装置及方法、以及元件制造方法有效
| 申请号： | 201880018873.1 | 申请日： | 2018-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN110431487B | 公开（公告）日： | 2021-08-10 |
| 发明（设计）人： | 加藤正纪 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B19/00 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张琳 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种照明装置，其对掩模进行照明，其包括：光源，产生照明光；变倍光学系统，调整照明光的最大倾斜角；光导纤维，将经由变倍光学系统的照明光维持倾斜角而予以分支；输入透镜，使从光导纤维的射出端射出的照明光成为平行光束；孔径光阑，调整该照明光的数值孔径；以及聚光透镜，将该数值孔径经调整的照明光导向掩模。能够根据照明条件来提高照明光的利用效率。 | ||
| 搜索关键词： | 照明 装置 方法 曝光 以及 元件 制造 | ||
【主权项】：
1.一种照明装置，其对掩模进行照明，其特征在于包括：光源，产生照明光；光学系统，调整所述照明光的倾斜角；第1聚光光学系统，对经由所述光学系统的所述照明光进行聚光；光学构件，将经由所述光学系统的所述照明光维持所述照明光的所述倾斜角而射出至所述第1聚光光学系统；孔径光阑，调整从所述第1聚光光学系统射出的所述照明光的数值孔径；以及第2聚光光学系统，将数值孔径经调整的所述照明光导向所述掩模。
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