[发明专利]平台系统和量测工具有效
| 申请号： | 201880018420.9 | 申请日： | 2018-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN110419005B | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | P·P·亨佩尼尤斯;M·K·M·巴格根;T·J·德霍格;S·朱莉安娜;H·M·J·范德格罗伊斯 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;吕世磊 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种平台系统和一种包括至少一个这样的平台系统的量测装置。平台系统包括用于保持物体的平台载体和用于使平台载体位移的平台载体定位致动器。平台系统还包括用于抵消平台载体的位移的平衡质量块、以及用于使平衡质量块移位的平衡质量块定位致动器。电缆装置连接到平台载体用于向上述平台载体提供至少电力。平台系统可操作以向平衡质量块施加补偿前馈力，该补偿前馈力补偿由电缆装置施加的电缆装置力。 | ||
| 搜索关键词： | 平台 系统 工具 | ||
【主权项】：
1.一种平台系统，包括平台载体，用于保持物体；平台载体定位致动器，用于使所述平台载体位移；平衡质量块，用于补偿所述平台载体的位移；平衡质量块定位致动器，用于使所述平衡质量块位移；电缆装置，连接到所述平台载体，用于向所述平台载体提供至少电力；其中所述平台系统可操作以向所述平衡质量块施加补偿前馈力，所述补偿前馈力补偿由所述电缆装置施加的电缆装置力。
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