[发明专利]真空泵的排气系统、装备于真空泵的排气系统的真空泵、吹扫气体供给装置、温度传感器单元及真空泵的排气方法有效
| 申请号： | 201880015710.8 | 申请日： | 2018-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN110366640B | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 桦泽刚志 | 申请（专利权）人： | 埃地沃兹日本有限公司 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F04C25/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 朱美红;傅永霄 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 实现精度良好地测量旋转部的温度的真空泵的排气系统、真空泵、吹扫气体供给装置、温度传感器单元及真空泵的排气方法。在有关本实施方式的真空泵的排气系统中，真空泵至少在旋转部的温度测量时，供给以下的某一方的量的吹扫气体：在比温度传感器单元靠下游侧的至少一部分、吹扫气体的流速比倒流的气体的流速快的量；或温度传感器单元周围的气体压力成为中间流或粘性流的量。进而，本实施方式的排气系统具有能够对向真空泵导入的吹扫气体的流量进行控制的吹扫气体供给装置。通过该结构，在温度测量时在温度传感器单元周围，防止工艺气体的倒流而防止成分结构变化，能够精度良好地测量旋转部的温度。 | ||
| 搜索关键词： | 真空泵 排气 系统 装备 气体 供给 装置 温度传感器 单元 方法 | ||
【主权项】：
1.一种真空泵的排气系统，具备：真空泵，在吹扫气体流路，配设有测量旋转部的温度的温度传感器单元；吹扫气体储存装置，储存由所述真空泵利用的吹扫气体；以及吹扫气体供给装置，将储存在所述吹扫气体储存装置中的所述吹扫气体向所述真空泵供给；其特征在于，至少在所述温度传感器单元测量所述旋转部的所述温度时，将满足以下某一方的条件的所述吹扫气体向所述真空泵供给：在比所述温度传感器单元靠下游侧的至少一部分、所述吹扫气体的流速比由所述真空泵排气的排气气体倒流的流速快的量；或在所述温度传感器单元周围、所述吹扫气体的压力成为中间流或粘性流的量。
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