[发明专利]扫描型探针显微镜有效
| 申请号： | 201880012577.0 | 申请日： | 2018-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN110312939B | 公开（公告）日： | 2022-06-10 |
| 发明（设计）人： | 大田昌弘 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | G01Q20/02 | 分类号： | G01Q20/02 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
提供一种扫描型探针显微镜，其具备：测定光照射部(171)，其向设置于悬臂(15)的可动端的反射面照射光；光检测部(174)，其具有比从反射面反射的反射光的入射区域大的受光面，通过该受光面被分割成了多个区域的受光面来检测该反射光；挠曲量计算部(41)，其基于向多个区域入射的光量的比例来求出悬臂(15)的挠曲量；判定部(42)，其判定悬臂(15)的挠曲的针对悬臂(15)的基端与试样(10)之间的距离的变化量是否为阈值K |
||
| 搜索关键词： | 扫描 探针 显微镜 | ||
【主权项】：
1.一种扫描型探针显微镜，使用具有挠性且两端为基端和可动端的悬臂来通过设置于该可动端的探针对试样表面进行扫描，该扫描型探针显微镜的特征在于，具备：a)测定光照射部，其向设置于所述可动端的反射面照射光；b)光检测部，其通过比从所述反射面反射的反射光的入射区域大且被分割成多个区域的受光面来检测该反射光；c)挠曲量计算部，其基于向所述多个区域入射的光量的比例来求出所述悬臂的挠曲量；d)判定部，其判定所述悬臂的挠曲的针对所述悬臂的基端与所述试样之间的距离的变化量是否为预先决定的阈值以上；以及e)入射位置移动部，其在所述变化量比所述阈值小的情况下，使所述反射光的向所述受光面入射的入射位置移动使得抵消该变化量。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社岛津制作所，未经株式会社岛津制作所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201880012577.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
