[发明专利]溅镀靶、积层膜的制造方法、积层膜及磁记录媒体在审

专利信息
申请号: 201880003554.3 申请日: 2018-08-16
公开(公告)号: CN109819661A 公开(公告)日: 2019-05-28
发明(设计)人: 清水正义;岩渊靖幸;增田爱美 申请(专利权)人: JX金属株式会社
主分类号: C23C14/34 分类号: C23C14/34;C23C14/06;G11B5/64;G11B5/851;H01F41/18
代理公司: 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 代理人: 程伟
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明的溅镀靶含有Co及Pt作为金属成分,Pt的含量相对于Co的含量的摩尔比为5/100~45/100,且含有Nb2O5作为金属氧化物成分。
搜索关键词: 溅镀靶 积层 磁记录媒体 金属氧化物 摩尔比 金属 制造
【主权项】:
1.一种溅镀靶,其含有Co及Pt作为金属成分,Pt的含量相对于Co的含量的摩尔比为5/100~45/100,且含有Nb2O5作为金属氧化物成分。
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