[发明专利]抛光垫在审
| 申请号： | 201880001838.9 | 申请日： | 2018-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN109153107A | 公开（公告）日： | 2019-01-04 |
| 发明（设计）人： | 横田亘俊;杉山翔太;成松贵 | 申请（专利权）人： | 古河电气工业株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/26 | 分类号： | B24B37/26;B24B37/24;C08L67/02;C08L69/00;C08L81/02;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京思益华伦专利代理事务所(普通合伙) 11418 | 代理人： | 郭红丽 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种抛光垫，其具有优异的抛光性能和抛光浆料的排出特性。所述抛光垫在抛光面上具有抛光部和槽部，其中，所述槽部的表面具有未发泡部，所述抛光部的表面露出有发泡部。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 抛光部 抛光垫 槽部 发泡 抛光浆料 抛光性能 排出 | ||
【主权项】：
1.一种抛光垫，其在抛光面上具有抛光部和槽部，其中，所述槽部的表面具有未发泡部，所述抛光部的表面露出有发泡部。
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