[外观设计]等离子处理装置用电极板有效
| 申请号： | 201830046524.3 | 申请日： | 2018-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN304826212S | 公开（公告）日： | 2018-09-21 |
| 发明（设计）人： | 矶崎真一;森政士;横川贤悦;荒濑高男;桥本尊久 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | 15-99 | 分类号： | 15-99 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 丁文蕴;许凯 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 1．本外观设计产品的名称：等离子处理装置用电极板。2．本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于作为在半导体制造中等离子处理装置的气体喷出板上使用的电极板。3．本外观设计产品的设计要点：如立体图所示内容，最能体现本外观设计产品的设计要点。特别在于B部放大图中所示产品形状。4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：立体图。5．在使用状态及示出各部名称参考图中，E‑硅片，F‑等离子受光端口，G‑上部对侧电极，H‑本外观设计产品，I‑等离子处理装置用电极板外周环，J‑等离子处理装置用感受器。在各个示出透光及透明部参考图中，斜线所示的外环部具有透光性，中间灰色部分为透明。 | ||
| 搜索关键词： | 外观设计 等离子处理装置 用电极板 半导体制造 产品形状 侧电极 等离子 电极板 感受器 喷出板 透光性 透明部 外环部 外周环 透光 斜线 硅片 受光 透明 图片 | ||
【主权项】：
暂无信息
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