[实用新型]一种高精度气体传感器阵列检测装置有效

专利信息
申请号: 201822253937.6 申请日: 2018-12-29
公开(公告)号: CN209589904U 公开(公告)日: 2019-11-05
发明(设计)人: 陈汉德;林仕伟;张俊平;周义龙;顾丁;王雪燕 申请(专利权)人: 海南聚能科技创新研究院有限公司
主分类号: G01N27/00 分类号: G01N27/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 571100 海南省海*** 国省代码: 海南;46
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摘要: 实用新型公开了一种高精度气体传感器阵列检测装置,包括待测气源、稀释气源、质量流量计、混气罐、真空调温腔体、多路数据采集与处理模块、流量输出电路模块、流量监测电路模块、流量开关电路模块、电脑操作端;所述待测气源、稀释气源分别与混气罐通过混气管道连接,所述质量流量计分别设于所述混气管道上;所述混气罐与所述真空调温腔体通过通气管道连接;所述真空调温腔体内设有待检测的传感器阵列,所述待检测的传感器阵列、多路数据采集与处理模块、电脑操作端依次电连接;本检测装置可同时检测多种气体参数,可调节测试腔体温度,亦可实现真空状态下进行检测,检测精确度高。
搜索关键词: 检测装置 调温腔 混气罐 检测 气体传感器阵列 传感器阵列 质量流量计 处理模块 电路模块 电脑操作 多路数据 稀释气源 气源 采集 开关电路模块 本实用新型 测试腔体 混气管道 流量监测 流量输出 气体参数 通气管道 真空状态 电连接 混气管 可调节 体内
【主权项】:
1.一种高精度气体传感器阵列检测装置,其特征在于:包括待测气源、稀释气源、质量流量计、混气罐、真空调温腔体、多路数据采集与处理模块、流量输出电路模块、流量监测电路模块、流量开关电路模块、电脑操作端;所述待测气源、稀释气源分别与混气罐通过混气管道连接,所述质量流量计分别设于所述混气管道上;所述混气罐与所述真空调温腔体通过通气管道连接;所述真空调温腔体内设有待检测的传感器阵列,所述待检测的传感器阵列、多路数据采集与处理模块、电脑操作端依次电连接;所述流量输出电路模块、流量检测电路模块、流量开关电路模块两端分别与电脑操作端和质量流量计电连接。
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