[实用新型]一种太阳能电池扩散石英舟有效

专利信息
申请号: 201822220368.5 申请日: 2018-12-27
公开(公告)号: CN209816331U 公开(公告)日: 2019-12-20
发明(设计)人: 励小伟;梁海;包兵兵;董道宴 申请(专利权)人: 浙江众达能源科技有限公司
主分类号: C30B31/14 分类号: C30B31/14;C30B29/06;H01L31/18
代理公司: 44288 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 代理人: 胡拥军;糜婧
地址: 315700 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型公开了一种太阳能电池扩散石英舟,包括:两个相对设置的连接支架;设置在两个连接支架之间的两个上支杆和两个下支杆;两个上支杆位于两个连接支架的上部,两个下支杆的顶部设有多个间隔排布的下卡槽;两个下支杆位于两个连接支架的下部,两个上支杆的内侧设有多个间隔排布的下卡槽;且两个下支杆之间的间距小于两个上支杆之间的间距,上卡槽与下卡槽的中线与水平面之间的夹角为80°~89°。本实用新型的目的在于提供一种太阳能电池扩散石英舟,使硅片在进行扩散工艺时与气体接触更加均匀。
搜索关键词: 连接支架 上支杆 下支杆 下卡槽 本实用新型 太阳能电池 间隔排布 石英舟 扩散 扩散工艺 气体接触 相对设置 夹角为 上卡槽 硅片
【主权项】:
1.一种太阳能电池扩散石英舟,其特征在于,包括:/n两个相对设置的连接支架;/n设置在所述两个连接支架之间的两个上支杆和两个下支杆;/n所述两个上支杆位于所述两个连接支架的上部,所述两个上支杆的内侧设有多个间隔排布的上卡槽;所述两个下支杆位于所述两个连接支架的下部,所述两个下支杆的顶部设有多个间隔排布的下卡槽;且所述两个下支杆之间的间距小于所述两个上支杆之间的间距,所述上卡槽与所述下卡槽的中线与水平面之间的夹角为80°~89°。/n
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