[实用新型]一种实时云纹干涉图高速相位测量及提取系统

摘要

本实用新型提出一种实时云纹干涉图高速相位测量及提取系统，该测量系统包括激光器、分光耦合器、相移器、隔振平台、底座、平移台、多维调节加载架、试件放置台、云纹干涉光路结构、可调节支杆、图像采集模块和控制模块；所述激光器、分光耦合器、相移器、底座设置于所述隔振平台上，所述平移台设置于底座上，所述多维调节加载架设置于平移台上，所述试件放置台设置于多维调节加载架上，所述激光器通过所述分光耦合器与所述云纹干涉光路结构连接，所述云纹干涉光路结构设置于所述试件放置台的上方空间；所述相移器与所述试件放置台连接；激光器发出的光经过云纹干涉光路结构后照射到待测试件表面，由待测试件反射至图像采集模块中。

主权项

1.一种实时云纹干涉图高速相位测量系统，其特征在于，该测量系统包括激光器(2)、分光耦合器(3)、相移器(4)、隔振平台(1)、底座(15)、平移台(16)、多维调节加载架(17)、试件放置台(5)、云纹干涉光路结构(6)、可调节支杆(7)和图像采集模块(8)；所述激光器(2)、分光耦合器(3)、相移器(4)、底座(15)设置于所述隔振平台(1)上，所述平移台(16)设置于底座上，所述多维调节加载架(17)设置于平移台上，所述试件放置台(5)设置于多维调节加载架(17)上，所述激光器(2)通过所述分光耦合器(3)与所述云纹干涉光路结构(6)连接，所述云纹干涉光路结构(6)设置于所述试件放置台(5)的上方空间；所述相移器(4)与所述试件放置台(5)连接；激光器(2)发出的光经过云纹干涉光路结构后照射到待测试件表面，由待测试件反射至图像采集模块(8)中。