[实用新型]一种非接触式平面度测量装置有效
| 申请号： | 201822192108.1 | 申请日： | 2018-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN209279923U | 公开（公告）日： | 2019-08-20 |
| 发明（设计）人： | 姚建政;杨涛 | 申请（专利权）人： | 天活松林光学（广州）有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 谭英强 |
| 地址： | 511434 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种非接触式平面度测量装置，包括底座及设置在底座上的载物台，载物台通过横向滑移结构进行横向移动，还包括依次设置在载物台上方的色散镜头和光纤头，光纤头通过光纤连接光源，光纤头通过光纤连接光谱接收器和光谱处理设备，此非接触式平面度测量装置及测量方法，将待检测工件放置在载物台，而后打开光源和光纤头，光谱处理设备即可利用反射的光波获得检测数据，通过移动载物台获得多个检测点高度值，光谱处理设备比较数据即可得到平面度，测量操作简单快捷，测量精度高，此实用新型用于镜片检测领域。 | ||
| 搜索关键词： | 光纤头 平面度测量装置 光谱处理设备 非接触式 载物台 光纤连接 底座 光源 横向滑移结构 本实用新型 测量精度高 光谱接收器 移动载物台 比较数据 测量操作 检测工件 检测数据 镜片检测 依次设置 光波 检测点 平面度 色散 载物 反射 测量 镜头 | ||
【主权项】：
1.一种非接触式平面度测量装置，其特征在于：包括底座及设置在所述底座上的载物台，所述载物台通过横向滑移结构进行横向移动，还包括依次设置在所述载物台上方的色散镜头和光纤头，所述光纤头通过光纤连接光源，所述光纤头通过光纤连接光谱接收器和光谱处理设备。
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