[实用新型]一种可调节抛光垫面型的抛光垫修整器有效

专利信息
申请号: 201822188637.4 申请日: 2018-12-25
公开(公告)号: CN209364389U 公开(公告)日: 2019-09-10
发明(设计)人: 王永成 申请(专利权)人: 上海致领半导体科技发展有限公司
主分类号: B24B53/017 分类号: B24B53/017
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201319 上海市浦东新区*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型提供一种可调节抛光垫面型的抛光垫修整器,包括修整器本体、修整丸片以及连接件,修整器本体的圆周方向设有若干放置孔,修整丸片的侧壁下方设有外螺纹,连接件包括套管、环形凸台以及弹性脚片。本实用新型提供的可调节抛光垫面型的抛光垫修整器,可根据工艺需求将修整丸片可选择的放置在放置孔内,进而对抛光垫进行修整,可实现多种抛光面型的修整,减少不同规格的修整器投入,有效控制成本。
搜索关键词: 修整 抛光垫 面型 抛光垫修整器 可调节 丸片 本实用新型 修整器本体 放置孔 连接件 有效控制成本 工艺需求 环形凸台 抛光 外螺纹 修整器 套管 侧壁 脚片
【主权项】:
1.一种可调节抛光垫面型的抛光垫修整器,其特征在于,包括修整器本体、修整丸片以及连接件,所述修整器本体的圆周方向设有若干放置孔,所述修整丸片的侧壁下方设有外螺纹,所述连接件包括套管、环形凸台以及弹性脚片,所述套管的内壁具有若干用于连接修整器本体的内螺纹,所述套管的上边缘具有一环形凸台,所述环形凸台用于卡扣在所述修整器本体的上表面,所述套管的下边缘具有弹性脚片,所述弹性脚片的端部具有钩部,所述钩部用于抵靠所述修整器本体的下表面。
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