[实用新型]一种控制离子源能量均匀性的装置有效
| 申请号： | 201822165515.3 | 申请日： | 2018-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN209276618U | 公开（公告）日： | 2019-08-20 |
| 发明（设计）人： | 刘军;汪鹏 | 申请（专利权）人： | 江西水晶光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 温州名创知识产权代理有限公司 33258 | 代理人： | 程嘉炜 |
| 地址： | 335000 江西省*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种控制离子源能量均匀性的装置，保证能量强度的同时，修正能量强度均匀性。为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：一种控制离子源能量均匀性的装置，包括离子源、蒸发源、镀膜机腔室、伞罩，其特征是：所述离子源、蒸发源、伞罩设置于镀膜机腔室内，所述离子源设有离子源修正组件。 | ||
| 搜索关键词： | 离子源 均匀性 本实用新型 镀膜机 蒸发源 伞罩 强度均匀性 修正组件 腔室 室内 修正 保证 | ||
【主权项】：
1.一种控制离子源能量均匀性的装置，包括离子源、蒸发源、镀膜机腔室、伞罩，其特征是：所述离子源、蒸发源、伞罩设置于镀膜机腔室内，所述离子源设有离子源修正组件。
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