[实用新型]一种用于晶棒磨削参考面的夹具有效
| 申请号： | 201822150008.2 | 申请日： | 2018-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN209868298U | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 刘国军;肖亚东;谈笑天 | 申请（专利权）人： | 汉能新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B41/06 | 分类号： | B24B41/06 |
| 代理公司： | 11662 北京华夏泰和知识产权代理有限公司 | 代理人： | 孟德栋 |
| 地址： | 101407 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种用于晶棒磨削参考面的夹具，涉及晶片加工技术领域。包括：卡装结构、固定垫块及底座；所述卡装结构固定于所述底座上，所述卡装结构上设置有与所述晶棒形状相匹配的弧形安装部，所述安装部具有开口；所述安装部上设置有所述固定垫块，所述固定垫块通过固定组件与所述底座连接；所述固定垫块上具有用于与所述晶棒接触的弧形安装面。实现与晶棒的面接触，增大了所述固定垫块与所述晶棒的接触面积，有效降低了晶棒的机械损伤。通过移动所述固定组件实现所述固定垫块的移动，可以调整所述固定垫块与所述晶棒之间的距离，实现进一步锁紧或放松。 | ||
| 搜索关键词： | 固定垫块 晶棒 卡装结构 固定组件 底座 夹具 本实用新型 弧形安装面 底座连接 弧形安装 机械损伤 晶片加工 面接触 移动 磨削 锁紧 匹配 开口 参考 放松 | ||
【主权项】：
1.一种用于晶棒磨削参考面的夹具，其特征在于，包括：卡装结构、固定垫块及底座；/n所述卡装结构固定于所述底座上，所述卡装结构上设置有与所述晶棒形状相匹配的弧形安装部，所述安装部具有开口；/n所述安装部上设置有所述固定垫块，所述固定垫块通过固定组件与所述底座连接，所述固定垫块上具有用于与所述晶棒接触的弧形安装面。/n
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