[实用新型]化学机械抛光垫有效
| 申请号： | 201822126821.6 | 申请日： | 2018-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN209466099U | 公开（公告）日： | 2019-10-08 |
| 发明（设计）人： | 张泽芳;彭诗月 | 申请（专利权）人： | 上海映智研磨材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/26 | 分类号： | B24B37/26;B24B57/02 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 张新鑫;许亦琳 |
| 地址： | 201799 上海市青浦区青*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种化学机械抛光垫，所述抛光垫整体呈圆形，所述抛光垫的中央部分为抛光区，所述抛光区为圆形，所述抛光区上设置内凹槽，所述内凹槽呈网络状分布在抛光区，所述内凹槽将抛光区分割成若干大小一致、均匀排布的正多边形或者圆形，所述抛光垫除抛光区以外的部分为外凹槽区，所述外凹槽区设置若干均匀排布的弧度方向一致的弧形外凹槽，所述外凹槽的一端延伸至抛光区、另外一端延伸至抛光垫的边缘，所述外凹槽与内凹槽连通；所述外凹槽宽度为2‑5.5mm，相邻两个所述外凹槽之间的距离是为5mm‑20mm，所述内凹槽的槽底所在的水平面不低于外凹槽的槽底所在的水平面。采用本装置排屑能力高，提高了抛光效率。 | ||
| 搜索关键词： | 外凹槽 抛光区 内凹槽 抛光垫 均匀排布 化学机械抛光垫 化学机械抛光 网络状分布 大小一致 方向一致 排屑能力 抛光效率 正多边形 延伸 连通 分割 | ||
【主权项】：
1.一种化学机械抛光垫，其特征在于，所述抛光垫整体呈圆形，所述抛光垫的中央部分为抛光区，所述抛光区为圆形，所述抛光区上设置内凹槽，所述内凹槽呈网络状分布在抛光区，所述内凹槽将抛光区分割成若干大小一致、均匀排布的正多边形或者圆形，所述抛光垫除抛光区以外的部分为外凹槽区，所述外凹槽区设置若干均匀排布的弧度方向一致的弧形外凹槽，所述外凹槽的一端延伸至抛光区、另外一端延伸至抛光垫的边缘，所述外凹槽与内凹槽连通；所述外凹槽宽度为2‑5.5mm，相邻两个所述外凹槽之间的距离是为5mm‑20mm，所述内凹槽的槽底所在的水平面不低于外凹槽的槽底所在的水平面。
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