[实用新型]一种真空箱体抽气口加热装置有效
| 申请号： | 201822106715.1 | 申请日： | 2018-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN209456565U | 公开（公告）日： | 2019-10-01 |
| 发明（设计）人： | 舒逸;刘光斗;李赞 | 申请（专利权）人： | 湖南玉丰真空科学技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 411100 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空箱体抽气口加热装置，包括设置在真空箱体内抽气口处的匀热板，匀热板上设有与抽气口一致的开口，在匀热板的底面通过加热丝固定板安装有加热丝，所述加热丝呈S型迂回弯折状均匀分布在匀热板底面，加热丝两端为冷端，冷端通过静密封穿过真空箱体壁与引入电极连接。本实用新型的加热装置通过设置在真空室内的加热丝及匀热板对抽气口加热，加热效果好、效率高，使用方便，匀热板可确保抽气口区域的温度均匀性也可以很好的保护加热丝以免基片碎片对加热丝造成损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 加热丝 匀热板 抽气口 真空箱体 加热装置 本实用新型 底面 冷端 固定板安装 温度均匀性 加热效果 内抽气口 引入电极 静密封 弯折状 加热 开口 损伤 穿过 室内 | ||
【主权项】：
1.一种真空箱体抽气口加热装置，其特征在于：包括设置在真空箱体内抽气口处的匀热板，匀热板上设有与抽气口一致的开口，在匀热板的底面通过加热丝固定板安装有加热丝，所述加热丝呈S型迂回弯折状均匀分布在匀热板底面，加热丝两端为冷端，冷端通过静密封穿过真空箱体壁与引入电极连接。
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