[实用新型]一种电子级超纯二氧化碳的生产系统

摘要

本实用新型属于气体生产领域，特别涉及一种电子级超纯二氧化碳的生产系统。该生产系统主要包括：二氧化碳脱硫罐(F1)，回热器(E1)，加热器(EH1)，催化转化炉(F2)，水冷却器(WE2)，再生式干燥器，原料二氧化碳过冷器(RU1)，第一级汽提塔(C1)，第一级汽提塔冷凝器(RU2)，塔顶分离器(G1)，C1塔底再沸器(E2)，第二级汽提塔(C2)，第二级汽提塔冷凝器(RU3)，塔顶分离器(G2)，产品二氧化碳过冷器(RU4)，电子级超纯二氧化碳液体贮罐(CG3)，C2塔底再沸器(EH3)，以及用于连接各设备的若干阀门与管线。本实用新型所提供的电子级超纯二氧化碳的生产系统及其产品可得到广泛应用，具有良好的市场前景。

主权项

1.一种电子级超纯二氧化碳的生产系统，其特征在于，包括：带压气态二氧化碳的输入管线(3)连接至二氧化碳脱硫罐(F1)的入口，二氧化碳脱硫罐(F1)的出口通过脱硫后的二氧化碳气体的输出管线(4)连接回热器(E1)的预热入口，回热器(E1)的预热出口依次连接加热器(EH1)和催化转化炉(F2)；其中，催化转化炉(F2)的出口通过脱烃后的二氧化碳气体输出管线(6)连接所述回热器(E1)的回收热量入口；所述回热器(E1)的回收热量出口通过完成热量回收的脱烃后的二氧化碳气体的输出管线(7)连接水冷却器(WE2)的二氧化碳入口；所述水冷却器(WE2)的二氧化碳出口通过脱水前的二氧化碳气体输入管线(8)连接再生式干燥器的干燥入口，再生式干燥器的干燥出口通过脱水后的二氧化碳气体输出管线(9)连接原料二氧化碳过冷器(RU1)的入口，原料二氧化碳过冷器(RU1)的出口通过过冷后的原料二氧化碳液体输出管线(13)连接第一级汽提塔(C1)的顶部的二氧化碳入口；第一级汽提塔(C1)的塔顶的出口通过含不凝气的粗二氧化碳输出管线(15)依次连接第一级汽提塔冷凝器(RU2)和塔顶分离器(G1)；其中，塔顶分离器(G1)顶部的出口连接含不凝气的粗二氧化碳气体输出管线(16)，塔顶分离器(G1)底部出口通过粗二氧化碳液体输出管线(17)连接第一级汽提塔(C1)的塔顶的回流入口；第一级汽提塔(C1)的塔釜的出口连接液体粗CO₂输出管线，其被分为两路：第一路液体粗CO₂输出管线连接至第一级汽提塔(C1)的塔釜入口，并且所述第一路液体粗CO₂输出管线上连接有C1塔底再沸器(E2)；第二路液体粗CO₂输出管线(18)连接至第二级汽提塔(C2)的中部的二氧化碳入口；第二级汽提塔(C2)的塔顶的出口通过气体CO₂输出管线依次连接第二级汽提塔冷凝器(RU3)和塔顶分离器(G2)；其中，塔顶分离器(G2)顶部的出口连接含不凝气的气相二氧化碳的输出管线，塔顶分离器(G2)底部回流出口连接至第二级汽提塔(C2)的塔顶回流入口，塔顶分离器(G2)底部产品出口通过液相超纯二氧化碳输出管线(19)连接产品二氧化碳过冷器(RU4)的入口，产品二氧化碳过冷器(RU4)的出口通过过冷后的液相超纯二氧化碳输出管线(20)连接电子级超纯二氧化碳液体贮罐(CG3)；其中，所述第二级汽提塔(C2)设置有C2塔底再沸器(EH3)，所述第二级汽提塔(C2)的塔釜出口连接含高沸点杂质的液体CO₂输出管线(22)。