[实用新型]一种半导体元件全自动探针台用探针卡固定组件有效
| 申请号： | 201822058658.4 | 申请日： | 2018-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN209387695U | 公开（公告）日： | 2019-09-13 |
| 发明（设计）人： | 彭勇 | 申请（专利权）人： | 合肥市华达半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 冯子玲 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区望江西路86*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体元件加工设备技术领域，具体涉及一种半导体元件全自动探针台用探针卡固定组件，包括固定支架、盖板、探针卡压紧机构，固定支架上设有空缺部；盖板上设有凹槽；探针卡压紧机构设有两组，每组包括底座、转动板、压板、驱动机构，底座连接在凹槽内。本实用新型设置固定支架上的空缺部，使外部设备上的探针卡卡合在空缺部，再通过探针卡压紧机构将探针卡进行压紧，从而实现探针卡的快速固定，提高效率，设置减震机构，防止压紧力过大导致压板将探针卡表面压伤，同时通过旋转锁紧螺母，调节压板与转动板水平段的间距，从而实现适应不同型号探针卡进行压紧。 | ||
| 搜索关键词： | 探针卡 半导体元件 固定支架 压紧机构 空缺部 压板 本实用新型 固定组件 探针台 转动板 盖板 压紧 外部设备 底座连接 加工设备 减震机构 快速固定 驱动机构 表面压 紧螺母 水平段 旋转锁 压紧力 两组 探针 底座 | ||
【主权项】：
1.一种半导体元件全自动探针台用探针卡固定组件，其特征在于，其包括：固定支架(1)，所述固定支架(1)侧壁上设有空缺部(2)；盖板(3)，所述盖板(3)设于固定支架(1)顶部，其上设有连通至所述固定支架(1)内的凹槽(4)；探针卡压紧机构，所述探针卡压紧机构设有两组，每组包括底座(5)、转动板(6)、压板(7)、驱动机构，所述底座(5)连接在凹槽(4)内，所述转动板(6)由倾斜段和水平段组成，其倾斜段铰接在所述底座(5)上，所述压板(7)连接在转动板(6)水平段上，所述驱动机构用于驱动转动板(6)沿与底座(5)铰接处转动。
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