[实用新型]一种石英晶片治具的清洗系统有效

专利信息
申请号: 201822052719.6 申请日: 2018-12-07
公开(公告)号: CN209697630U 公开(公告)日: 2019-11-29
发明(设计)人: 林鹏正 申请(专利权)人: 杭州鸿星电子有限公司
主分类号: B08B5/04 分类号: B08B5/04;B08B13/00
代理公司: 31272 上海申新律师事务所 代理人: 俞涤炯<国际申请>=<国际公布>=<进入
地址: 310000 浙江省杭*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型涉及清洗装置技术领域,尤其涉及一种石英晶片治具的清洗系统,通过运行装置和控制装置组成基本的清洗系统,利用电源给接近开关供电,当石英晶片治具放入拆料装置上时,接近开关收到信号闭合通电,给继电器供电和给时间继电器常开端供电,接触器常开端闭合通电,使得电磁阀与鼓风机工作,此时拆料装置上的石英晶片治具里的杂质与污染物经过软管、连接器、初效过滤器和水管吸进鼓风机中,等到时间继电器时间结束后断电,鼓风机停止工作,此时治具清洗完毕可以拿起,拿起后所述接近开关回到初始状态。本技术方案的有益效果:保证了在被银后被银治具拆片与清洗过程中石英晶片的电性能,减小晶片污染增加晶片良品数。
搜索关键词: 治具 石英晶片 鼓风机 接近开关 时间继电器 闭合 清洗系统 常开端 料装置 供电 被银 继电器 通电 连接器 本实用新型 初效过滤器 晶片污染 控制装置 清洗过程 清洗装置 时间结束 收到信号 运行装置 软管 电磁阀 电性能 接触器 放入 减小 晶片 断电 水管 清洗 污染物 电源 保证
【主权项】:
1.一种石英晶片治具的清洗系统,其特征在于,包括:/n一运行装置,所述运行装置包括一拆料装置、一软管、一连接器、一电磁阀、一初效过滤器、一鼓风机及、一水管;/n一控制装置,所述控制装置包括,一电源装置、一接近开关、一继电器、一时间继电器、一接触器及一插座;/n所述拆料装置通过所述软管连接至所述连接器的第一通孔;/n所述连接器的第二通孔通过所述软管连接所述初效过滤器;/n所述电磁阀安装在所述连接器的第三通孔上;/n所述接触器与所述电磁阀的控制端相连;/n所述初效过滤器通过所述水管连接至所述鼓风机的进风口;/n所述鼓风机的出风口连接所述水管;/n所述接近开关安装在所述拆料装置上;/n所述电源装置、所述接近开关、所述继电器、所述时间继电器、通过导线依次连接到至所述插座;/n所述插座与所述鼓风机通过导线相连。/n
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