[实用新型]一种探针台用探针卡固定机构

摘要

本实用新型涉及半导体元件加工设备技术领域，具体涉及一种探针台用探针卡固定机构，包括安装架、顶板、支架、滑柱、夹爪、螺纹丝杆、连接板、传动机构，传动机构用于驱动螺纹丝杆转动。本实用新型设置固定支架上的空缺部，使外部设备上的探针卡穿过空缺部，传动机构驱动螺纹丝杆转动，使两个夹爪将探针卡进行卡紧，从而实现探针卡的快速固定，另外通过转动蜗杆使两个夹爪相对运动，取代传统方式旋转多个螺丝的方式，提高了操作效率，设置移动机构，通过转动螺纹轴，使夹爪能够竖直升降，从而适应不同型号探针卡进行固定。

主权项

1.一种探针台用探针卡固定机构，其特征在于，其包括：安装架(1)，所述安装架(1)底部外壁上设有空缺部(2)；顶板(3)，所述顶板(3)固接在安装架(1)顶部，其上设有连通至所述空缺部(2)上的避空槽(4)；支架(5)，所述支架(5)设置在避空槽(4)内且其长度方向横跨空缺部(2)，其由一个顶板及两个侧板组成；滑柱(6)，所述滑柱(6)对应设有两个，分别水平穿透所述支架(5)两侧板且能自由滑动；夹爪(7)，所述夹爪(7)对应连接在两个滑柱(6)上，其由竖直段及水平段组成；螺纹丝杆，所述螺纹丝杆水平设置在支架(5)上且与支架(5)转动连接，其由两端螺纹旋向相反的第一螺纹段(8)、第二螺纹段(9)组成；连接板(10)，所述连接板(10)设有两个，其上端分别套设在第一螺纹段(8)、第二螺纹段(9)上且与第一螺纹段(8)、第二螺纹段(9)螺纹连接，其下端分别套接在所述滑柱(6)上，所述螺纹丝杆转动时，驱动两个所述连接板(10)相对运动；传动机构，所述传动机构用于驱动螺纹丝杆转动。