[实用新型]一种阴极支座装置有效
| 申请号： | 201822033745.4 | 申请日： | 2018-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN209323004U | 公开（公告）日： | 2019-08-30 |
| 发明（设计）人： | 郎文昌;刘俊红;刘伟;胡晓忠 | 申请（专利权）人： | 苏州艾钛科纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C25D11/04 |
| 代理公司： | 北京智汇东方知识产权代理事务所(普通合伙) 11391 | 代理人： | 薛峰;康正德 |
| 地址： | 215010 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种阴极支座装置，涉及磁控溅射技术领域。其包括：法兰板，所述法兰板具有第一面和第二面，所述第二面用于通过螺栓密封安装于磁控溅射镀膜设备的外壁，所述第二面与所述外壁间设有绝缘板；所述第一面设有导电件；阴极体，与所述第二面间隔所述绝缘板设置，所述阴极体为U形形状，所述阴极体与所述第二面间通过带有绝缘套的导电螺栓固定并电连接；所述阴极体的远离所述第二面的端面设有铜片，所述铜片与所述端面间设有冷却水腔，所述冷却水腔通过穿设于所述阴极体的进出水管连通外部，所述铜片上用于安装靶材。本实用新型提供了提供一种阴极支座装置，可以提升其导电性能和散热性能，并降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 第二面 阴极体 阴极支座 铜片 本实用新型 冷却水腔 法兰板 绝缘板 外壁 磁控溅射镀膜设备 磁控溅射技术 螺栓 导电螺栓 导电性能 进出水管 密封安装 散热性能 导电件 电连接 绝缘套 靶材 穿设 连通 外部 | ||
【主权项】：
1.一种阴极支座装置，用于将溅射靶材密封安装于磁控溅射镀膜设备的外壁，其特征在于，包括：法兰板，所述法兰板具有第一面和第二面，所述第二面用于通过螺栓密封安装于磁控溅射镀膜设备的外壁，所述第二面与所述外壁间设有绝缘板；所述第一面设有导电件；阴极体，与所述第二面间隔所述绝缘板设置，所述阴极体为U形形状，所述阴极体与所述第二面间通过带有绝缘套的导电螺栓固定并电连接；所述阴极体的远离所述第二面的端面设有铜片，所述铜片与所述端面间设有冷却水腔，所述冷却水腔通过穿设于所述阴极体的进出水管连通外部，所述铜片上用于安装靶材。
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