[实用新型]一种光学检测系统有效
| 申请号： | 201822019944.X | 申请日： | 2018-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN209542480U | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 胡冰峰 | 申请（专利权）人： | 康代影像科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种光学检测系统，包括用于照射光掩模版的光源、控制器和成像模块，光源的光束穿过光掩模版后由成像模块接受并形成灰度图像，光源包括透射眀场照明和透射暗场照明，控制器与透射眀场照明、透射暗场照明和成像模块电连接，控制器设定透射眀场照明、透射暗场照明的光强关系，使得透射眀场光源的特征和透射暗场光源照射在光掩模版的不同类型的缺陷后，得到检测信号的强度处于成像模块能够检测到的范围内，控制器处理成像模块所检测到的图像信息。本实用新型提供的光学检测系统能够同时检测出相对于检测波长而言的较大缺陷和较小缺陷，准确地反应出来所检测光掩模版的缺陷，防止漏检不合格的光掩模版。 | ||
| 搜索关键词： | 透射 成像模块 光源 光学检测系统 暗场照明 光掩模版 检测 本实用新型 控制器 掩模版 控制器处理 控制器设定 暗场光源 光束穿过 灰度图像 检测信号 图像信息 大缺陷 电连接 检测光 照射光 波长 光强 漏检 照射 | ||
【主权项】：
1.一种光学检测系统，包括用于照射光掩模版的光源、控制器和成像模块，所述光源的光束穿过光掩模版后由所述成像模块接受并形成灰度图像，其特征在于：所述光源包括透射眀场照明和透射暗场照明，所述控制器与所述透射眀场照明、透射暗场照明和成像模块电连接，所述控制器设定所述透射眀场照明、透射暗场照明的光强关系，使得透射眀场光源的特征和透射暗场光源照射在光掩模版的不同类型的缺陷后，得到检测信号的强度处于成像模块能够检测到的范围内，所述控制器处理所述成像模块所检测到的图像信息。
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