[实用新型]半导体器件的烤箱治具

摘要

一种半导体器件的烤箱治具，其特征在于，包含:多个支撑架，支撑架围绕构成矩形形状；多个层板，各层板分别设置在支撑架的顶端以及底端之间的位置，及于各层板上具有多个贯穿层板的孔洞；垫高架，设置于各层板上的第一侧边且相邻于层板的最外侧的孔洞；挡片，设置于层板上的第二侧边；以及抵持件，抵持件设置于远离挡片的另一端且位于垫高架的下方，用以调整垫高架升高的角度以及固定垫高架，据此以提高操作便利性，并使水份快速蒸发减少烘干时间，达到提高效率之目的。

主权项

1.一种半导体器件的烤箱治具，其特征在于，包含:多个支撑架，所述支撑架围绕构成矩形形状；多个层板，各所述层板以分层方式分别设置在所述支撑架的顶端以及所述支撑架的底端之间的位置，且各所述层板之间具有一定的间隔距离，及于各所述层板上具有多个贯穿所述层板的孔洞；垫高架，设置于各所述层板上的第一侧边且相邻于所述层板的最外侧的所述孔洞，且所述垫高架以一角度远离所述层板的上表面；挡片，设置于所述层板上的第二侧边，且所述第一侧边与所述第二侧边相互垂直；以及抵持件，所述抵持件设置于远离所述挡片的另一端且位于所述垫高架的下方，用以调整所述垫高架升高的所述角度以及固定所述垫高架，据此，设置在所述垫高架上的半导体零件不与所述层板的所述上表面直接接触。