[实用新型]一种便于操作的离子溅射仪

摘要

本实用新型公开了一种便于操作的离子溅射仪，包括工作台，所述工作台顶部外壁分别放置有离子溅射仪本体和真空泵，所述真空泵顶部外壁开有圆孔，且圆孔内插接有气压表，所述真空泵一侧内壁插接有真空管，且真空管一端插接有真空管转接头，所述真空管转接头两侧外壁均粘贴有密封垫，所述离子溅射仪本体顶部外壁设置有玻璃样品室，且玻璃样品室顶部外壁设置有固定板，所述玻璃样品室底部内壁设有保护壳，且保护壳底部内壁设置有电机。本实用新型便于引导处于学习阶段且导师不在身边的操作人员进行操作，避免了操作人员由于不熟悉操作流程出现操作失误，降低了意外事故的发生率，提高了整个装置的安全性。

主权项

1.一种便于操作的离子溅射仪，包括工作台(1)，其特征在于，所述工作台(1)顶部外壁分别放置有离子溅射仪本体(12)和真空泵(3)，所述真空泵(3)顶部外壁开有圆孔，且圆孔内插接有气压表(4)，所述真空泵(3)一侧内壁插接有真空管(2)，且真空管(2)一端插接有真空管转接头(6)，所述真空管转接头(6)两侧外壁均粘贴有密封垫(5)，所述离子溅射仪本体(12)顶部外壁设置有玻璃样品室(9)，且玻璃样品室(9)顶部外壁设置有固定板(10)，所述玻璃样品室(9)底部内壁设有保护壳(16)，且保护壳(16)底部内壁设置有电机(15)，所述电机(15)输出轴的一端外壁设置有转动杆(18)，且转动杆(18)外壁套接有联轴器(17)，所述转动杆(18)远离电机(15)输出轴的一端外壁设置有放置板(19)，所述放置板(19)顶部外壁设置有固定杆，所述固定杆顶部外壁开有凹槽，且凹槽底部内壁转动连接有转轴(22)，所述转轴(22)顶部外壁设置有样品盒(14)，所述放置板(19)顶部外壁设置有电动伸缩筒(20)，且电动伸缩筒(20)顶部内壁插接有电动伸缩杆(21)。