[实用新型]一种磁控溅射镀膜治具有效
| 申请号： | 201821952266.6 | 申请日： | 2018-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN209276621U | 公开（公告）日： | 2019-08-20 |
| 发明（设计）人： | 张威;周常河;刘年生;丁自强;马帅 | 申请（专利权）人： | 江苏星浪光学仪器有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 225600 江苏省扬州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种磁控溅射镀膜治具,包括支架，支架两端设有安装槽，支架本体中间均匀开有若干镀膜孔，镀膜孔边缘设有卡紧阶梯，镀膜边缘设有若干压槽，压槽一侧对应设有卡槽，压槽内部压紧有卡墩，卡墩内部固定有弹簧，弹簧内插有螺杆，螺杆底部与压槽底部固定，螺杆顶端旋紧有螺母，螺母下端与弹簧过盈贴合，结构简单，操作方便，能有效的固定镜片，大大提高了镀膜效率，较为实用。 | ||
| 搜索关键词： | 压槽 弹簧 螺母 磁控溅射镀膜 镀膜 螺杆 治具 本实用新型 镀膜边缘 镀膜效率 固定镜片 过盈贴合 螺杆顶端 内部固定 支架本体 支架两端 安装槽 孔边缘 卡槽 卡紧 内插 下端 旋紧 压紧 支架 | ||
【主权项】：
1.一种磁控溅射镀膜治具,其特征在于：包括支架(1)，所述支架(1)两端设有安装槽(2)，所述支架(1)本体中间均匀开有若干镀膜孔(3)，所述镀膜孔(3)边缘设有卡紧阶梯(4)，所述镀膜孔(3)边缘设有若干压槽(5)，所述压槽(5)一侧对应设有卡槽(6)，所述压槽(5)内部压紧有卡墩(7)，所述卡墩(7)内部固定有弹簧(8)，所述弹簧(8)内插有螺杆(9)，所述螺杆(9)底部与所述压槽(5)底部固定，所述螺杆(9)顶端旋紧有螺母(10)，所述螺母(10)下端与所述弹簧(8)过盈贴合。
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