[实用新型]一种MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201821896950.7 | 申请日： | 2018-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN208940246U | 公开（公告）日： | 2019-06-04 |
| 发明（设计）人： | 安春璐;李忠凯 | 申请（专利权）人： | 歌尔科技有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京正理专利代理有限公司 11257 | 代理人： | 王喆 |
| 地址： | 266100 山东省青岛*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种MEMS麦克风，包括由基板和壳体围成的包括有容腔的外部封装；位于容腔内的补强板，以及MEMS芯片；基板上包括有声孔，补强板上包括有过声孔；过声孔包括形成于补强板内部的声音通道，第一开孔以及第二开孔；第一开孔的竖向投影与第二开孔的竖向投影不重叠。所述麦克风还包括有防水膜，补强板的与声孔对应部分的底面与防水膜之间留有间隔距离，该间隔距离为0.02mm‑0.08mm。本实用新型通过对麦克风结构的改进，提高了麦克风的结构强度以及结构稳定性，利于装配，且调节了麦克风的频响曲线，提高了产品的声学性能。 | ||
| 搜索关键词： | 补强板 麦克风 声孔 本实用新型 第二开孔 第一开孔 间隔距离 防水膜 基板 容腔 竖向 投影 结构稳定性 麦克风结构 频响曲线 声学性能 声音通道 不重叠 壳体围 底面 封装 装配 外部 改进 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS麦克风，其特征在于，所述麦克风包括：由基板和壳体围成的包括有容腔的外部封装；位于容腔内且固定结合在所述基板顶面上的补强板；以及结合固定在所述补强板的背离所述基板一侧表面的MEMS芯片；所述基板上包括有声孔，所述补强板覆盖所述声孔，且所述补强板上包括有将MEMS芯片背腔与所述声孔连通的过声孔；所述过声孔包括：形成于所述补强板内部的声音通道；位于所述声音通道一端的，且与所述MEMS芯片背腔对应设置的第一开孔；以及位于所述声音通道另一端的，且与所述声孔对应设置的第二开孔；所述第一开孔的竖向投影与所述第二开孔的竖向投影不重叠；所述麦克风还包括有与所述基板结合固定的防水膜，所述防水膜覆盖所述声孔；所述防水膜包括与所述基板结合固定的固定部，以及与所述声孔对应的阻水透气部；所述补强板的与声孔对应部分的底面与所述防水膜的阻水透气部之间留有间隔距离，该间隔距离为0.02mm‑0.08mm。
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