[实用新型]基片加热传输装置有效
| 申请号： | 201821883029.9 | 申请日： | 2018-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN209412312U | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | 王浩;胡庆为 | 申请（专利权）人： | 东泰高科装备科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京维澳专利代理有限公司 11252 | 代理人： | 周放;王立民 |
| 地址： | 102209 北京市昌平*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基片加热传输装置，包括：加热板，设置在基片载板的下表面；隔热背板，设置在所述加热板的下方；夹紧件，将所述基片载板、加热板和隔热背板夹持固定；传输组件，与所述夹紧件相连，用于驱动所述夹紧件移动。本实用新型提供的基片加热传输装置，通过设置加热板与基片载板直接接触，通过热传导的方式实现对基片载板的加热，通过设置夹紧件和传输组件使基片在加热的过程中被传输，从而能对基片持续地加热，避免了在基片被传输的过程中产生热量的损失，提高了基片加热的均匀性，并提高了太阳能电池产品的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 加热 基片载板 夹紧件 加热板 传输装置 本实用新型 传输组件 隔热 太阳能电池产品 传输 背板夹 均匀性 热传导 下表面 背板 驱动 移动 | ||
【主权项】：
1.一种基片加热传输装置，其特征在于，包括：加热板，设置在基片载板的一侧；隔热背板，设置在所述加热板远离所述基片载板的一侧；夹紧件，将所述基片载板、加热板和隔热背板夹持固定；传输组件，与所述夹紧件相连，用于驱动所述夹紧件移动。
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