[实用新型]一种硅烷法生产电子级多晶硅混合气体净化装置

摘要

本实用新型公开了一种硅烷法生产电子级多晶硅混合气体净化装置，包括筒体，筒体上端设有盖体，筒体上端外侧壁上设有第一法兰，盖体下端外侧壁上设有与第一法兰配合使用的第二法兰，第一法兰和第二法兰之间设有垫板，筒体内部固定连接有安装架，安装架上固定连接有滤袋，筒体外侧壁上设有第三法兰，第三法兰通过螺栓连接有盖板，盖体上贯设有第一连接管，第一连接管外端焊接有第四法兰，盖体上端设有第二连接管，第二连接管上端焊接有第五法兰，滤袋上方设有文丘管，盖体上贯设有进气管，筒体下部分设有排气管；总的，本实用新型具有使用方便的优点。

主权项

1.一种硅烷法生产电子级多晶硅混合气体净化装置，包括筒体（1），其特征在于：所述筒体（1）上端设有盖体（2），所述筒体（1）上端外侧壁上设有第一法兰（3），所述盖体（2）下端外侧壁上设有与第一法兰（3）配合使用的第二法兰（4），所述第一法兰（3）和第二法兰（4）之间设有垫板（18），所述筒体（1）内部固定连接有安装架（5），所述安装架（5）上固定连接有滤袋（6），所述筒体（1）外侧壁上设有第三法兰（7），所述第三法兰（7）通过螺栓连接有盖板（8），所述盖体（2）上贯设有第一连接管（9），所述第一连接管（9）外端焊接有第四法兰（10），所述盖体（2）上端设有第二连接管（11），所述第二连接管（11）上端焊接有第五法兰（12），所述滤袋（6）上方设有文丘管（13），所述盖体（2）上贯设有进气管（14），所述筒体（1）下部分设有排气管（20）。/n