[实用新型]一种高效槽式烘干结构

摘要

本实用新型涉及一种高效槽式烘干结构，包括槽体，多组花篮，热电阻，石英加热管，槽内进气管，槽内抽气管，定位调节装置，轴流风轮，电机，过滤器，高压风机，外部进气管，外部抽气管，外部抽空气管，翻盖。本实用新型解决了硅片烘干时效率低下，成本高，耗时浪费的问题；本实用新型结构简单合理、体积较小、安装方便，节约成本，可以方便运用到清洗生产线上。

主权项

1.一种高效槽式烘干结构，包括槽体(1)，多组花篮(2)，热电阻(3)，石英加热管(4)，槽内进气管(5)，槽内抽气管(6)，定位调节装置(7)，轴流风轮(8)，电机(9)，过滤器(10)，高压风机(11)，外部进气管(12)，外部抽气管(13)，外部抽空气管(14)，翻盖(15)；其特征在于：槽体(1)采用不锈钢材料制成，整体喷涂特氟龙，多组花篮(2)置于定位调节装置(7)上，石英加热管(4)安装于槽体底部两侧，热电阻(3)安装于槽内抽气管(6)两端，电机(9)与轴流风轮(8)连接，安装于槽体(1)底部，槽内进气管(5)安装在槽体(1)后方侧板上，置于多组花篮(2)底部吹气，槽内进气管(5)、外部进气管(12)、过滤器(10)、高压风机(11)依次相连，出气口置于轴流风轮(8)上方，槽内抽气管(6)安装于槽体(1)后方侧板上，尽量靠上且在多组花篮(2)正后方，高压风机(11)抽气口连接外部抽气管(13)，并与槽内抽气管(6)相连接，在高压风机(11)抽气口位再连接一根外部抽空气管(14)，翻盖(15)安装在槽体(1)上。