[实用新型]一种多设备真空恒压控制结构

摘要

本实用新型属于真空控制技术领域，尤其涉及一种多设备真空恒压控制结构。一方面该结构避免了多设备在状态切换过程中需要对各设备相应的真空装置进行分别操作处理的繁琐程序，在某一个或者多个设备不需要真空环境时将其功率降低或者转移至其他设备，避免了真空资源的浪费，也不需要进行停机或者待机运转，大大降低了能源的消耗，另一方面基于真空系统以及分支管道之间的结构，实现真空度的缓冲处理，在单一分支管道出现故障时降低其对整个真空系统的影响，通过真空度传感器的数据反馈，将其不利影响进行及时处理，使得整个真空系统的环境更容易保持和维护，进而提高整个生产线的稳定，减少设备的更新维护、状态切换等操作的内容。

主权项

1.一种多设备真空恒压控制结构，其特征在于，包括用于抽真空的真空泵、电机、冷却水箱、真空管道、储气罐；电机的轴与真空泵的轴连接；真空管道包括连接真空泵与储气罐的主管道、由储气罐延伸出的副管道，以及多个从副管道分支出来并分别连接至不同设备的分支管道；还包括用于控制真空的微处理单元、驱动单元、真空度传感器、电磁阀；电磁阀设置在副管道与各分支管道交点和该分支管道所连接的设备之间；真空度传感器设置在主管道上；真空度传感器的输出端分别连接至微处理器的输入端，微处理器的输出端连接至驱动单元，驱动单元连接至电机的控制结构。