[实用新型]一种化学气相沉积真空机组有效
| 申请号： | 201821756855.7 | 申请日： | 2018-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN208934871U | 公开（公告）日： | 2019-06-04 |
| 发明（设计）人： | 方明喜;肖学才;常强 | 申请（专利权）人： | 爱利彼半导体设备（中国）有限公司 |
| 主分类号： | F04B37/14 | 分类号： | F04B37/14;F16M5/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种化学气相沉积真空机组，包括基座，所述基座的上表面通过螺栓固定有第一真空泵，所述第一真空泵的外侧设置有支架，所述支架的底端通过焊接固定在第一真空泵上表面，所述支架的上方通过螺栓固定有第二真空泵，所述支架与第二真空泵通过管道相连通，所述基座的一侧通过螺栓固定有手动液压杆，所述手动液压杆异于基座的一侧设置有手动杆；该真空机组增设有手动液压杆、压力液体同步管道、支撑柱、伸缩杆提升设备的高度，通过手动液压杆对伸缩杆加压，使得伸缩杆底端的滚轮与地面接触，并将设备整体托起，滚轮能够便于工作人员调整真空机组的位置，提升了工作人员的工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 真空泵 手动液压杆 真空机组 支架 螺栓固定 伸缩杆 化学气相沉积 上表面 滚轮 本实用新型 地面接触 工作效率 焊接固定 设备整体 提升设备 同步管道 外侧设置 压力液体 手动杆 支撑柱 底端 托起 加压 增设 | ||
【主权项】：
1.一种化学气相沉积真空机组，包括基座(4)，其特征在于：所述基座(4)的上表面通过螺栓固定有第一真空泵(1)，所述第一真空泵(1)的外侧设置有支架(3)，所述支架(3)的底端通过焊接固定在第一真空泵(1)上表面，所述支架(3)的上方通过螺栓固定有第二真空泵(2)，所述支架(3)与第二真空泵(2)通过管道相连通，所述基座(4)的一侧通过螺栓固定有手动液压杆(10)，所述手动液压杆(10)异于基座(4)的一侧设置有手动杆(8)，所述手动杆(8)通过支撑架固定在基座(4)的一端，且所述手动杆(8)与手动液压杆(10)之间通过同步杆(9)连接。
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