[实用新型]一种基于4G通信的射频滤波器

摘要

本实用新型涉及无线通信射频前端器件技术领域，提出了一种基于4G通信的射频滤波器，该滤波器包括：硅衬底；设置于硅衬底上的空腔，固定于硅衬底上的空腔中的活动臂，设置在硅衬底与活动臂之间的用于驱动活动臂发生倾斜角度变化的驱动器，活动臂包括固定于驱动器上的垂直固定部，以及与垂直固定部连接且用于与硅衬底共同形成活动声波腔的至少一个水平活动部，水平活动部的另一端悬空于硅衬底的顶部上方，驱动器驱动活动臂发生倾斜角度变化使活动声波腔的腔体发生变化进而调节谐振频率。上述滤波器通过驱动活动臂发生倾斜角度变化以使活动声波腔的腔体空间发生变化，进而改变谐振频率，能够有效解决用牺牲层形成空腔产生的释放困难、应力集中等问题。

主权项

1.一种基于4G通信的射频滤波器，其特征在于，所述射频滤波器包括：硅衬底；设置于所述硅衬底上的空腔，固定于所述硅衬底上的所述空腔中的活动臂，设置在所述硅衬底与所述活动臂之间的用于驱动所述活动臂发生倾斜角度变化的驱动器，所述活动臂包括固定于所述驱动器上的垂直固定部，以及与所述垂直固定部连接且用于与所述硅衬底共同形成活动声波腔的至少一个水平活动部，所述水平活动部的另一端悬空于所述硅衬底的顶部上方，所述驱动器驱动所述活动臂发生倾斜角度变化使所述活动声波腔的腔体发生变化以调节谐振频率。