[实用新型]一种真空镀膜用真空泵

摘要

本实用新型公开了一种真空镀膜用真空泵，包括进气管、泵体、活塞杆、连动杆、电机、传送带、出气口、横杆、转子、齿轮、气阀、活塞、孔槽、挡板、滚轮、转动轴和缓冲垫，利用电机带动滚轮旋转，滚轮带动传送带以及转动轴，转动轴带动连动杆，连动杆带动活塞杆水平运动，达到活塞在泵体，活塞真空腔进行活塞运动，传送带转动带动横杆转动，横杆转动带动齿轮转动，齿轮相互间咬合，达到同步转动的目的，横杆一端固定连接转子，转子转动将气体排除，进一步吸气。

主权项

1.一种真空镀膜用真空泵，包括进气管（1）、泵体（2）、活塞杆（3）、连动杆（4）、电机（5）、传送带（6）、出气口（7）、横杆（8）、转子（9）、齿轮（10）、气阀（11）、活塞（12）、孔槽（13）、挡板（14）、滚轮（15）、转动轴（16）和缓冲垫（17）， 其特征在于，所述泵体（2）分为活塞（12）真空腔以及旋转真空腔两部分，泵体（2）活塞（12）真空腔以及旋转真空腔通过管道连接，泵体（2）两端开设有开口，下端开口位置外侧固定连接有进气管（1），泵体（2）上端开口为出气口（7）；所述泵体（2）活塞（12）真空腔内部安装有两组挡板（14），挡板（14）固定连接泵体（2）活塞（12）真空腔内壁，挡板（14）相互对应，挡板（14）上开设有通孔，通孔内侧安装有滑轨，滑轨上滑动连接滑套，滑套一端滑动连接滑轨，滑套另一端固定连接气阀（11），气阀（11）为一竖杆两端固定连接有圆形板，上端圆形板直径大于下端圆形板直径，气阀（11）在通孔内侧滑动，气阀（11）一端置于挡板（14）上端，气阀（11）另一端置于挡板（14）下端，通孔外侧挡板（14）表面开设有若干个穿孔，穿孔位置均在气阀（11）上端圆形板下方，挡板（14）之间滑动连接有活塞（12），活塞（12）一侧固定连接活塞杆（3）的一端，活塞杆（3）另一端连接连动杆（4），活塞杆（3）与连动杆（4）之间通过销轴连接，泵体（2）活塞（12）真空腔一侧开设有通孔，活塞杆（3）穿过通孔连接连动杆（4），活塞杆（3）一端置于泵体（2）内侧一端置于泵体（2）外侧，连动杆（4）一端连接活塞杆（3），连动杆（4）另一端固定连接转动轴（16）；所述泵体（2）旋转真空腔为椭圆形结构，泵体（2）旋转真空腔侧边开设有两个通孔，横杆（8）穿过通孔一端固定连接有转子（9），横杆（8）另一端套有传送带（6），转子（9）置于泵体（2）旋转真空腔内部，两个转子（9）之间相互垂直，泵体（2）旋转真空腔外侧横杆（8）上安装有齿轮（10），齿轮（10）相互咬合，传送带（6）一端套在横杆（8）上，传送带（6）另一端套于滚轮（15）上，滚轮（15）一侧连接电机（5）输出端，滚轮（15）另一侧固定连接有转动轴（16），电机（5）外壳固定连接挡板（14），挡板（14）固定连接在泵体（2）。