[实用新型]一种烧结炉的输送装置有效
申请号: | 201821740098.4 | 申请日: | 2018-10-25 |
公开(公告)号: | CN209054953U | 公开(公告)日: | 2019-07-02 |
发明(设计)人: | 王会;刘品德;朱速锋;戴向荣 | 申请(专利权)人: | 苏州南北深科智能科技有限公司 |
主分类号: | F27B21/08 | 分类号: | F27B21/08 |
代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人: | 孙仿卫;李萍 |
地址: | 215200 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种烧结炉的输送装置,提高了硅片传输的稳定性。一种烧结炉的输送装置,包括用于承载并输送硅片的传输件,所述输送装置还包括设于所述传输件两侧的导向机构,两侧的所述导向机构限定所述传输件的运行路径。所述输送装置还包括安装座及设于所述安装座上的安装轮,所述传输件绕过所述安装轮设置,所述导向机构设置在所述安装座上。所述导向机构可上下移动或可左右移动地设置在所述安装座上。 | ||
搜索关键词: | 输送装置 导向机构 安装座 传输件 烧结炉 安装轮 本实用新型 可上下移动 可左右移动 硅片传输 运行路径 硅片 绕过 承载 | ||
【主权项】:
1.一种烧结炉的输送装置,包括用于承载并输送硅片的传输件,其特征在于:所述输送装置还包括设于所述传输件两侧的导向机构,两侧的所述导向机构限定所述传输件的运行路径。
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