[实用新型]一种二维解耦宏微运动平台

摘要

本实用新型公开了一种二维解耦宏微运动平台，包括平面底板和上位机，平面底板上设置有X轴运动组件、Y轴运动组件、中间运动组件、宏运动驱动机构和微运动驱动机构；X轴运动组件包括第一导轨和第一运动滑块；Y轴运动组件包括第二导轨和第二运动滑块；中间运动组件包括X轴导轨、Y轴导轨、中间平台；宏运动驱动机构用于驱动第一运动滑块和第二运动滑块的宏运动进给；微运动驱动机构用于驱动第一运动滑块和第二运动滑块的微运动补偿。上述二维解耦宏微运动平台在实际工作过程中，通过互无干扰的宏微结构，实现了高速运行和精密误差补偿的双向发展，能够实现简单快捷的高精度运动。

主权项

1.一种二维解耦宏微运动平台，其特征在于，包括平面底板(1)和上位机(2)，所述平面底板(1)上设置有X轴运动组件、Y轴运动组件、中间运动组件、宏运动驱动机构(14)和微运动驱动机构(15)；所述X轴运动组件包括两个沿X轴方向平行布置的第一导轨(3)和分别设置在所述第一导轨(3)上且能够沿对应的所述第一导轨(3)滑动的第一运动滑块(4)；所述Y轴运动组件包括两个沿Y轴方向平行布置的第二导轨(5)和分别设置在所述第二导轨(5)上且能够沿对应的所述第二导轨(5)滑动的第二运动滑块(6)；所述中间运动组件包括两端分别连接于两个所述第二运动滑块(6)上的X轴导轨(7)、两端分别连接于两个所述第一运动滑块(4)上的Y轴导轨(8)、中间平台(9)；所述X轴导轨(7)上设置有X轴光栅尺(10)，所述Y轴导轨(8)上设置有Y轴光栅尺(11)，且所述X轴导轨(7)和所述Y轴导轨(8)呈十字交叉的方式布置；所述中间平台(9)位于所述十字交叉的一个交叉角上且能够随所述X轴导轨(7)和所述Y轴导轨(8)的运动而运动，所述中间平台(9)上设置有第一读数头(12)和第二读数头(13)；所述第一读数头(12)用于读取所述X轴光栅尺(10)的读数，所述第二读数头(13)用于读取所述Y轴光栅尺(11)的读数；所述第一读数头(12)、所述第二读数头(13)、所述宏运动驱动机构(14)和所述微运动驱动机构(15)均与所述上位机(2)连接，且所述宏运动驱动机构(14)用于驱动所述第一运动滑块(4)和所述第二运动滑块(6)的宏运动进给；所述微运动驱动机构(15)用于驱动所述第一运动滑块(4)和所述第二运动滑块(6)的微运动补偿。