[实用新型]一种单晶炉漏硅检测装置有效
| 申请号： | 201821702084.3 | 申请日： | 2018-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN209292514U | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 武高峰;周锐;李侨;徐战军;赵会刚;张伟建;赵阳;刘永生;张永辉 | 申请（专利权）人： | 隆基绿能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 | 代理人： | 王胜利 |
| 地址： | 710100 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种单晶炉漏硅检测装置，属于单晶硅制造技术领域。所述单晶炉漏硅检测装置包括温度判断装置、报警装置和至少一个温度感应器，至少一个所述温度感应器的信号输出端与温度判断装置的信号输入端信号连接，所述温度判断装置的信号输出端与报警装置的信号输入端信号连接，所述坩埚托杆穿过单晶炉的底板向外延伸的一端设置有一个温度感应器。采用本实用新型所述技术方案，由于本申请中均将测温点设置于炉体腔体的外侧，不破坏炉体结构，也不改变炉体内热场结构，结构简单、使用方便，同时又能及时检测出硅液泄漏。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶炉 温度判断装置 温度感应器 检测装置 本实用新型 信号输出端 信号输入端 报警装置 信号连接 底板 单晶硅 炉体结构 热场结构 一端设置 坩埚托杆 测温点 炉体腔 硅液 泄漏 体内 穿过 检测 延伸 申请 制造 | ||
【主权项】：
1.一种单晶炉漏硅检测装置，单晶炉上设置有坩埚托杆，其特征在于，所述单晶炉漏硅检测装置包括温度判断装置、报警装置和至少一个温度感应器，至少一个所述温度感应器的信号输出端与温度判断装置的信号输入端信号连接，所述温度判断装置的信号输出端与报警装置的信号输入端信号连接，所述坩埚托杆穿过单晶炉的底板向外延伸的一端设置有一个温度感应器。
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