[实用新型]一种真空镀膜设备过压溢流保护阀

摘要

本实用新型公开了一种真空镀膜设备过压溢流保护阀，一种针对真空镀膜生产线进出腔体充气破真空时候使用的机械式过压溢流保护阀。其特征主要包括：密封盖板、过渡连接板、连接轴、支撑板、轴用挡圈、O型密封圈、KF法兰卡箍、带密封圈中心支架。所述过压溢流保护阀为机械式结构，密封盖板通过连接轴、过渡连接板与支撑板相连接，连接轴两侧开有安装槽，通过轴用挡圈固定其位置，支撑板上开有密封圈槽，用以安装O型密封圈，密封盖板通过O型密封圈与支撑板之间进行配合，连接板通过KF法兰卡箍和带密封圈中心支架与真空腔体之间进行连接。当腔体处于真空状态，即负压状态时候，密封盖板起到真空密封作用，当腔体内正压过大时候，密封盖板将脱离O型密封圈，起到过压溢流作用。该机构可以广泛应用于真空镀膜设备上，特别是大型高生产节拍的真空镀膜生产线。

主权项

1.一种真空镀膜设备过压溢流保护阀，其特征主要包括：密封盖板（10）、过渡连接板（20）、连接轴（30）、支撑板（40）、轴用挡圈（50）、O型密封圈（60）、KF法兰卡箍（70）、带密封圈中心支架（80）；所述过压溢流保护阀为机械式结构，密封盖板（10）通过连接轴（30）、过渡连接板（20）与支撑板（40）相连接，支撑板（40）上开有密封圈槽，用以安装O型密封圈（60），密封盖板（10）通过O型密封圈（60）与支撑板（40）之间实现真空密封作用，支撑板（40）通过KF法兰卡箍（70）和带密封圈中心支架（80）与真空腔体之间进行连接。