[实用新型]一种提高腐蚀液交换速率及均匀性的装置有效
| 申请号： | 201821633299.4 | 申请日： | 2018-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN209423372U | 公开（公告）日： | 2019-09-24 |
| 发明（设计）人： | 初亚东 | 申请（专利权）人： | 天津天物金佰微电子有限公司 |
| 主分类号： | B01F7/00 | 分类号： | B01F7/00 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 刘莹 |
| 地址： | 300000 天津市西青*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种提高腐蚀液交换速率及均匀性的装置，包括槽体和旋转花篮；所述槽体为上端开口的箱体，所述旋转花篮可旋转固定在所述槽体内的空腔中，与所述旋转花篮的旋转轴心垂直的截面为多个竖直截面，所述槽体由该竖直截面截取的截面呈梯形，且该槽体梯形截面的下底边长度小于上底边长度；该槽体的底面板上设有腐蚀液入口，所述腐蚀液入口位于所述旋转花篮的旋转轴心正下方。本实用新型所述的提高腐蚀液交换速率及均匀性的装置，避免了槽体内底角部位由于流速差异导致的腐蚀液交换“死角”，且可以通过调节槽体两侧倾角，来有效调节通过花篮两侧的腐蚀液流量，达到均匀交换的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 腐蚀液 槽体 花篮 均匀性 交换 本实用新型 竖直截面 旋转轴心 体内 槽体两侧 底角部位 流速差异 上端开口 有效调节 垂直的 底面板 可旋转 上底边 下底边 截取 空腔 死角 | ||
【主权项】：
1.一种提高腐蚀液交换速率及均匀性的装置，其特征在于：包括槽体(1)和旋转花篮(2)；所述槽体(1)为上端开口的箱体，所述旋转花篮(2)可旋转固定在所述槽体(1)内的空腔中，与所述旋转花篮(2)的旋转轴心垂直的截面为多个竖直截面，所述槽体(1)由该竖直截面截取的截面呈梯形，且该槽体(1)梯形截面的下底边长度小于上底边长度；该槽体(1)的底面板上设有腐蚀液入口(11)，所述腐蚀液入口(11)位于所述旋转花篮(2)的旋转轴心正下方。
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